太陽能光伏系統是指利用光伏單晶硅、多晶硅等半導體材料的光生伏打效應將太陽能轉化為直流電能的設施。核心是太陽能電池板。真空技術用在單晶硅和多晶硅的燒結爐中，可防止雜質污染，防止和其他氣體的反應，提高拉晶純度。

真空技術在硅片、電池、封裝線和光伏成品模塊等工件搬運時，精準而高效。在其表面避免留下痕跡或對其造成二次污染。在PE刻蝕擴散中也需用到真空設備。

 光伏行業主要應用以下類型真空泵：螺桿真空泵、旋片真空泵、渦旋泵和羅茨機組等。